SUPER TECH ST系列质量流量控制器是新一代工业微机电的产品，采用基于微机电系统（MEMS）的流量传感器，适用于广泛的气体流量精密测量领域。

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更新时间：2024-11-20

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产品介绍

SUPER TECH ST系列质量流量控制器是新一代工业微机电的产品，采用基于微机电系统（MEMS）的流量传感器，适用于广泛的气体流量精密测量领域。
ST系列量程覆盖范围10sccm-20slpm（氮气等效），控制范围从1%满量程到100%满量程。
提供Modbus-RTU（基于RS232或RS485）数字信号或模拟信号（4-20mA或0-5V）通信接口。所需的电源电压为15-32V。
ST系列紧凑设计只有68mm的长度和80mm的高度，高度是传统产品尺寸的3/5，并且本产品可以在360°
任意角度下安装使用。

应用及案例

● 气相色谱仪

● 配气仪

● 真空镀膜

● 泄漏检测

● 生物发酵

● 食品和制药

● 实验室等

SUPER TECH ST系列质量流量控制器产品特点

● 响应时间≤600毫秒

● 控制范围从 1% 到 100% 满量程

● ±0.8% 设定点精度