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离子束溅射薄膜压力传感器,应用*的离子束溅射和离子束刻蚀工艺,将应变电桥 直接制作在金属测压膜片上。由于丌用传统的胶粘工艺,显著改善了应变式传感器的长期稳定性 及抗蠕变特性,使产品使用的温度范围大为扩展。由于没有活动部件,抗震动和抗冲的能力很强, 可用于恶劣的环境
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