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流量计

型 号SD-S030

所属分类气体流量计

报价10000

发布时间2022-07-13

产品描述:热式气体质量流量控制器/流量计主要应用在量程范围从5sccm—1500slm之间气体流量的测量和控制,采用新型传感制作工艺,具有本体显示、数模一体,随意切换、多种通讯、响应速度快、准确度高、流量控制稳定、压力范围宽、线性度好等优点,适用于绝大多数干燥、干净的气体(及少数腐蚀性气体)。

产品概述

应用行业:真空镀膜设备、石油化工、航空航天、医药制造业、火电、核电、天然气加气站、太阳能、 液晶面板制造半导体工艺设备、化学与化工实验设备、食品科学与工程设备、能源与环境保护设备、各种分析仪器设备表面处理、真空冶金及材料工艺、高校及科研院所实验室设备等行业的公司

 

  气体质量流量控制器/流量计出厂通常用氮气(N2)标定
质量流量单位:SCCM(标准毫升每分钟)SLM(标准升每分钟)
标准状况:温度--293.15K(20℃)

压力--101325Pa(760mmHg)
F.S(Full Scale)表示满量程

流量计特征

--全数字构架               --更快的响应速度

--宽压力范围               --出色的线性度

--新型传感制作工艺

流量规格(氮气)

0-10sccm/10sccm-50slm

控制量程

2%-100%

精度

≤±1.0%F.S

线性

≤±0.5%F.S

重复性

≤±0.2%F.S

阀门类型

常闭阀

响应时间

1-3sec

最大耐压

0-50Bar

通信信号

0-5V/4-20mA/Rs485

供电方式

14VDC--27VDC (300mA)

泄漏率

1×10-9atm. cc/sec He





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