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激光共焦显微镜

型 号OLS5100

所属分类激光共焦显微镜

报价9999

发布时间2022-03-25

产品描述:激光共焦显微镜适用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光显微镜将测量精度和光学性能与智能工具相结合,让显微镜更加方便使用。通过快速高效精确测量亚微米级形状和表面粗糙度的可靠数据简化您的工作流程。

产品概述

激光共焦显微镜适用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光显微镜将测量精度和光学性能与智能工具相结合,让显微镜更加方便使用。通过快速高效精确测量亚微米级形状和表面粗糙度的可靠数据简化您的工作流程。

 激光共焦显微镜主机

型号OLS5100-SAFOLS5100-SMFOLS5100-LAFOLS5100-EAF
总倍率

54x–17,280x


视场

16 µm–5,120 µm


测量原理光学系统反射式共焦激光扫描激光显微镜
反射式共焦激光扫描激光-DIC显微镜
颜色
彩色DIC


光接收元件激光:光电倍增管(2通道)
彩色:CMOS彩色相机

高度测量显示分辨率0.5 nm

动态范围16位

重复性σn -1*1 *2 *55X:0.45 μm, 10X:0.1 μm, 20X:0.03 μm, 50X:0.012 μm, 100X:0.012 μm

准确度*1 *3 *50.15 + L / 100μm(L:测量长度[μm])

拼接图像准确度*1 *3 *510X:5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接长度[μm])

测量噪声(Sq噪声)*1 *4 *51 nm(典型值)
宽度测量显示分辨率1 nm

重复性3σn-1  *1 *2 *5 

5X:0.4 μm, 10X:0.2 μm, 20X:0.05 μm, 50X:0.04 μm, 100X:0.02 μm



准确度*1 *3 *5测量值+/- 1.5%

拼接图像准确度*1 *3 *510X:24+0.5L μm, 20X:15+0.5L μm, 50X:9+0.5L μm, 100X:7+0.5L μm (L:拼接长度[mm])
单次测量时最大测量点数量

4096 × 4096像素


最大测量点数量

3600万像素


XY载物台配置长度测量模块不适用不适用

工作范围

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手动

300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 电动

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动


最大样品高度

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.)

30 mm (1.2 in.)

30 mm (1.2 in.)

210 mm (8.3 in.)


激光光源波长405 nm

最大输出0.95 mW

激光等级2级(IEC60825-1:2007,IEC60825-1:2014)
彩色光源白光LED
电气功率240 W240 W278 W240 W
质量显微镜主体约 31 kg约 32 kg约 50 kg约 43 kg

控制箱约 12 kg



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