KLA iNano 纳米压痕仪：iNano为压痕、硬度、划痕测试和多元化纳米级测试等纳米级力学测试设计。iNano能够测试包括软质高聚物到硬质涂层和薄膜等在内的各种材料。

F50薄膜厚度测量仪：依靠F50的光谱测量系统，可以简单且快速地获得直径450毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用r-θ极坐标移动平台，可以快速的定位所需测试的点并测试厚度，测试非常快速，大约每秒能测试两点。

电阻率测量仪是KLA薄膜电阻和导电率测绘系统。从半导体制造到实现可穿戴技术所需的柔性电子产品，薄膜电阻监控对于任何使用导电薄膜的行业都比较重要。

薄膜厚度测量仪薄膜特性：厚度、反射率、透射率、光学常数、均匀性、刻蚀量等；薄膜种类：透明及半透明薄膜，常见如氧化物、聚合物甚至空气。

微米级横向定位精度自动化薄膜厚度测绘系统集成了先进的光学、电子和机械模块，可兼用于对无图形和图形薄膜（例如微图形表面、粗糙表面）进行精确测量 ）。

精簡薄膜厚度测量特性分析系统：FR-ES 機型設計在以较小的占地面积提供涂层表征性能。它广泛应用于各种不同的测量应用：薄膜厚度、折射率、颜色、透射率、反射率等等。