Herz主动式减震系统平台为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供的主动隔振性能(从0.5Hz开始)。UT-1000A平台通过消除，干扰测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜中获得更多信息。

F54薄膜厚度测量仪的产品能以一个电动R-Theta 平台自动移动到选定的测量点以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度, 样品直径达450毫米，可选择数十种内建之同心圆,矩形,或线性图案模式,或自行建立无数量限制之测量点.只需具备基本电脑技能，就可在数分钟内自行建立配方。

薄膜厚度测量仪以真空镀膜为设计目标，F10-RT 只要单击鼠标即可获得反射和透射光谱。 只需简单操作。用户就能进行 FWHM 并进行颜色分析。

AVI-600系列 主动式防震系统为紧凑型的主动隔振系统，是纳米技术大型仪器隔振的解决方案。对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是不错的选择。

F3-sX薄膜厚度测量仪利用光谱反射原理，可以测试众多半导体及电解层的厚度，可测厚度达3毫米。此类厚膜，相较于较薄膜层表面较粗糙且不均匀，F3-sX系列配置10微米的测试光斑直径因而可以快速容易的测量其他膜厚测试仪器不能测量的材料膜层。而且能在几分之一秒内完成。

F54-XYT-300薄膜厚度测量仪具有集成的显微镜和实时摄像头，可以精确监控膜厚测量点。小尺寸的测量光斑允许测量有图案的样品，并且可以改良在较粗糙的材料上的测量性能。