三维磁场探针台采用无磁材料制成，三对类亥姆霍兹线圈正交放置，产生空间三维磁场，线圈采用水冷结构，并且配备有线圈过热保护装置，可以长时间稳定工作。

采用无磁材料制成，三对类亥姆霍兹线圈正交放置，产生空间三维磁场，线圈采用水冷结构，并且配备有线圈过热保护装置，可以长时间稳定工作。通过软件或者电源前面板控制每一维上的输出电流，可以产生空间任意方向的矢量磁场。探针台配备有可移动样品台，可以实现水平方向二维移动和样品台360度转动，便于样品的安装和测试。探针台具有四个高精度探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等，广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。

三维磁场探针台和东方晨景自主研发的高精度双极性电源相匹配，通过真正的双极性电源输出，实现了空间任意方向上的矢量场合成.

三维磁场探针台参数

◆ X轴线圈外径：640mm 

◆ Y轴线圈外径：470mm 

◆ Z轴线圈外径：260mm 

◆ X轴线圈间距：240mm 

◆ Y轴线圈间距：126mm

◆ Z轴线圈间距：100mm

◆ X轴线圈电流：≤14A

◆ Y轴线圈电流：≤14A

◆ Z轴线圈电流：≤14A

◆ X轴中心最大磁场：≥300Gs

◆ Y轴中心最大磁场：≥300Gs

◆ Z轴中心最大磁场：≥300Gs

◆ X轴均匀度（Φ20球体）：0.1%

◆ Y轴均匀度（Φ20球体）：0.07%

◆ Z轴均匀度（Φ20球体）：0.5%

◆ 线圈冷却形式：水冷

◆ 线圈工作温度：＜60℃

◆ 总重量：约330㎏ 

样品台参数 

◆ 样品台直径：最大102mm(可更换)

◆ X方向行程：±51mm

◆ Y方向行程：±51mm

◆ 旋转角度：360°

◆ 旋转精度：0.1°

◆ 材料：无磁 

探针座参数 

◆ X向行程：±6mm

  ◆ Y向行程：±6mm 

  ◆ Z向行程：±6mm

  ◆ 分辨率：20μm 

  ◆ 三围尺寸：38W*62D*54H 

  ◆ 重量：200克 

  注：探针座可选 

  探针参数

  ◆ 长度：38mm 

  ◆ 直径：0.51mm 

  ◆ 针尖直径：10μm 

  ◆ 材料：钨 

    注：探针可选 

显微镜参数

◆ 成像元件：CMOS 

◆ 成像原件像素：1000万

◆ 有效像素：1280*1024

◆ 连续变倍：6X-600X

◆ 视场范围：3.5mm-35mm 

◆ 调焦范围：65mm 

◆ 镜头直径：50mm 

◆ 最小分辨率：1微米 

◆ 十字光标：4组 

◆ 输出视频：VGA

◆ 显示器：19寸LCD 

    注：显微镜可选