当前位置:首页   >    产品中心   >       >    实验室仪器   >   微米级横向定位精度自动化薄膜厚度测绘系统 产品展示

微米级横向定位精度自动化薄膜厚度测绘系统

型 号

所属分类实验室仪器

报价

更新时间2024-09-23

产品描述:微米级横向定位精度自动化薄膜厚度测绘系统集成了先进的光学、电子和机械模块,可兼用于对无图形和图形薄膜(例如微图形表面、粗糙表面)进行精确测量 )。

产品概述

品牌其他品牌产地类别国产
应用领域化工,综合

微米级横向定位精度自动化薄膜厚度测绘系统         

FR-Scanner-AIO-Mic-XY200: 微米级横向定位精度自动化薄膜厚度测绘系统    

微米级横向定位精度自动化薄膜厚度测绘系统     

FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY200模块化厚度测绘系统集成了先进的光学、电子和机械模块,可兼用于对无图形和图形薄膜(例如微图形表面、粗糙表面)进行精确测量 )。    

将晶圆放置在配备反射率标准件真空吸盘上(晶圆尺寸直径≤200mm), 由功能强大的光学模块执行测量,光斑尺寸可缩小至几微米。电动平台提供XY方向 200 毫米的行程,在速度、精度和可重复性方面具有的性能.    

     

FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY200提供了:    

     

o       实时反射率光谱测量    

o       薄膜厚度、光学参数、非均匀性测量、厚度测绘    

o       使用集成的、USB 连接的高质量彩色相机进行成像    

o       多種量測參數广泛统计数据    

o       半自动图案对准功能用于测量周期性图形区域    

o       软件功能,例如:"Click2Move “(萤幕点击定位量测点)、比例尺    

 


型號                                                            

光谱范围(纳米)                                                

光谱仪                                                

光谱仪像素                                                

                                                 

                                                 

                                                 

厚度范围 (SiO2)                                                

5X- VIS/NIR                                                

10X-VIS/NIR                                                

10X-UV/NIR*                                                

15X- UV/NIR *                                                

20X- VIS/NIR                                                

20X- UV/NIR *                                                

40X- UV/NIR *                                                

50X- VIS/NIR                                                

可分析n & k最小厚度                                                

厚度準確性(精度)**                                                 

光源                                                

显微镜模块                                                

 平台分辨率                                                 

绝对精度                                                

晶圆尺寸                                                

参考/暗区                                                

扫描速度                                                

                             

微米级横向定位精度自动化薄膜厚度测绘系统规格pecifications*    

     

     

UV/VIS    

200 – 850    

     

     

     

UV/NIR-HR        D UV/NIR        VIS/NIR    

190-1100        200 – 1700        380 –1020    

CCD image sensor    

     

     

     

NIR    

900 – 1700    

     

     

3648                        

3648                        

2048                        

3648 & 512                        

3648                        

3648 & 512                        

512                        

3648                        

4nm – 60μm                        

4nm – 70μm                        

4nm – 80μm                        

4nm – 150μm                        

10nm – 90μm                        

15nm–150μm                        

100nm-150μm                        

4um – 1mm                        

4nm – 50μm                        

4nm – 60μm                        

4nm – 65μm                        

4nm – 130μm                        

10nm – 80μm                        

15nm–130μm                        

100nm–130μm                        

                       

4nm – 40μm                        

4nm – 50μm                        

4nm – 50μm                        

4nm – 120μm                        

                       

                       

100nm-100μm                        

                       

4nm – 25μm                        

4nm – 30μm                        

4nm – 30μm                        

4nm – 50μm                        

10nm – 50μm                        

15nm – 60μm                        

100nm – 60μm                        

                       

4nm – 4μm                        

4nm – 4μm                        

4nm – 5μm                        

4nm – 6μm                        

                       

                       

                       

                       

                       

                       

                       

                       

10nm – 7μm                        

15nm – 8μm                        

100nm – 8μm                        

                       

50nm                        

50nm                        

50nm                        

50nm                        

100nm                        

100nm                        

500nm                        

                       

     

     

     

     

     

选项    

材料在折射率存在一定差異時可同时测量 4 层 (依样本状况而異)    

0.2% or 1nm        0.2% or 2nm        3nm or 0.3%    

Deuterium & Halogen (internal), 2000h (MTBF)                Halogen 12V/50W (internal)    

配备 2MP/5MP 彩色图像传感器的显微镜柱,具有宽阔的观察区    

优于0.5μm    

±3μm    

2 / 3 / 4  / 6 英寸(150 毫米 ) /8 英寸(200 毫米)或最大 200 毫米的任何形状(不包括参考/暗区模块)                                    集成在卡盘上    

                                      49 点测量/90 秒(8 寸晶圆)    

     

FR-AutoFocus        100mm 长线性轴,用于自动对焦,具有两种操作模式:图像对焦(对比度)/ 反射强度                        

FR-FilterWheel        电动滤光轮模块带有可容纳 8个滤光片的插槽由计算机自动控制: 滤光片尺寸:直径0.5英寸,直径 1 英寸(孔径 23 毫米)                        

FR-AutoTurret        自动转塔由计算机控制可容纳 4 个物镜:镜头切换速度约为 2.0-3.0 秒                        

Lenses        长工作距离 VIS/NIR 镜头: 5X, 10X, 20X, 40X, 50X                        

反射式 UV/NIR 镜头: 10X, 15X, 25X, 40X                        

Pump        低噪音真空泵,2.5L/min,真空度-60kPa.                        

Chucks        a) 单直径晶圆卡盘(4 英寸、6 英寸、200 毫米) b) 带参考区域的光掩模卡盘(6 英寸) c) 包括参考区域和暗区,用于自动基准的多晶圆卡盘(100 毫米、150 毫米、200 毫米和不规则形状样本)                        

Enclosure        外壳带有联锁装置,可在装载晶圆的门打开时激活快门                        

规格如有变更,恕不另行通知. 通过定制可以实现真正的 X-Y 扫描 ** 与校正过的光谱椭偏仪和x射线衍射仪的测量结果匹配,*超过15天平均值的标准偏差平均值,样品:硅晶片上1微米SiO2,*标准偏差100次厚度测量结果,样品:硅晶片上1微米SiO2, * 15天内每日平均值的2*标准差。样品:硅片上1微米SiO2. *** 还可根据要求提供适用于 450mm 及双面抛光硅晶圆的平台..    

     

     

测量区域光斑(收集反射信号的区域)与物镜和孔径大小有关,  标准孔径尺寸为:500μm(方形)、250μm(方形)、100μm(方形).250μm为默认孔径值.可根据要求提供的其他孔径尺寸:150μm(方形)和 50μm(方形)    

     

物鏡        光斑尺寸                        

Magnification                        

工作距离(mm)                        

500                        

μm孔径                        

250                        

孔径(默认)                        

150                        

μm 孔径                        

100                        

μm孔径                        

5x                        

45                        

100 μm                        

50 μm                        

30 μm                        

20 μm                        

10x                        

34                        

50 μm                        

25 μm                        

15 μm                        

10 μm                        

        20x                                

31                        

25 μm                        

14 μm                        

8 μm                        

5 μm                        

50x                        

20                        

10 μm                        

5 μm                        

3 μm                        

2 μm                        

     

电源要求                                                    

尺寸/宽x深x高                                                    

重量材料数据库                                                    

材料数据库                                                    

软件特性                            

单相96-230V, 5A@100V, 2A@220V 700 x 540 x 700 mm (宽x深x高)    

~50公斤(Depends on the actual configuration)    

> 800 种不同的材料    

FR-Monitor v4.0 (免费更新) 完整详细信息请参见相关目录页面    

     

微米级横向定位精度自动化薄膜厚度测绘系统微米级横向定位精度自动化薄膜厚度测绘系统     

二维厚度分布图        3D厚度分布图    

For further information, please contact us at  or m                            

ThetaMetrisis S.A. © 2024                             

     

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
QQ在线客服
电话咨询
  • 4006981718
  • 18600536779